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有限长螺管对高频等离子体电磁场的端部及匝间效应

唐福林 陈允明

唐福林, 陈允明. 有限长螺管对高频等离子体电磁场的端部及匝间效应[J]. 应用数学和力学, 1988, 9(11): 1015-1022.
引用本文: 唐福林, 陈允明. 有限长螺管对高频等离子体电磁场的端部及匝间效应[J]. 应用数学和力学, 1988, 9(11): 1015-1022.
Tang Fu-lin, Chen Yun-ming. The End and Spacing Effect of Induction Coil of Finite Length on the EM Field in HF Plasma[J]. Applied Mathematics and Mechanics, 1988, 9(11): 1015-1022.
Citation: Tang Fu-lin, Chen Yun-ming. The End and Spacing Effect of Induction Coil of Finite Length on the EM Field in HF Plasma[J]. Applied Mathematics and Mechanics, 1988, 9(11): 1015-1022.

有限长螺管对高频等离子体电磁场的端部及匝间效应

The End and Spacing Effect of Induction Coil of Finite Length on the EM Field in HF Plasma

  • 摘要: 在实际应用中,高频等离子体发生器感应螺管的高度一般与螺管的直径大小相近,因此在高频等离子体理论计算中螺管端部对等离子体电磁场的影响不容忽视.本文在等离子体为均匀电导率、无限长直圆柱的假设下,求解了它在有限长分离螺管中的电磁场分布,得到一些新的结果.指出,等离子体轴心处的磁场与空心螺管轴心处的有很大不同,甚至会出现逆向磁场;而在等离子体半径处的磁感应强度值仅稍大于空心螺管时的值,且其相位差与空心螺管时的也相差甚微.应用此处的空心螺管电磁场作为高频等离子体计算中电磁场的边值条件与实际更为接近.
  • [1] 中国科学院力学研究所六室高频组,30KW高频等离子体感应加热设备及等离于体发生器研制报告(1980).
    [2] Graves,David B.and K.F.Jensen,A continuum model of DC and RF discharges,IEEE Transactions on Plasma Science,PS-14(1982),78-91.
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    [5] Jackson,J.D.,Classical Electrodynamics,John Wiley & Sons,Inc.(1976).
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出版历程
  • 收稿日期:  1987-07-28
  • 刊出日期:  1988-11-15

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